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大行程粗糙度测量解决方案

仪器概述
 

本仪器具备CNC测量功能同批次工件可进行批量测量。
本仪器采用非接触式传感器,线性好,精度高。
可评价粗糙度、波纹度、轮廓度等数百项参数。
软件可显示R曲线、W曲线、P曲线。

 
测量范围

X方向测量:350mm
X方向分辨率:0.1μm
传感器量程:200μm
传感器分辨率:0.008μm
Z方向立柱移动范围:100mm
Y方向移动范围:350mm

 
技术参数

 

项目 参数
技术参数 线性精度 ≤±(5nm+2.8%)
残值噪声 ≤0.005μm
重复性 ±5%
截止波长 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm
评定长度 λcX2、3、4、5、6、7
运动控制 X轴驱动方式 电动
Z轴驱动方式 电动
Y轴驱动方式 电动
X轴驱动速度 0.05~15mm/s
Z轴驱动速度 0.2-15mm/s
Y轴驱动速度 0.05~15mm/s