一体式合金钢导轨
以硬核材质，成就优异的运行稳定性
Z 轴采用高品质合金钢一体成型导轨，相较传统导轨结构，选材更严苛、工艺更精密。材质本身具备优异刚性与结构稳定性，可显著提升测量过程中的运行平稳性与重复定位精度，为设备长期高精度作业提供可靠支撑，尽显产品高端制造水准。
精密微小孔节流气浮主轴
搭载精密微小孔节流气浮主轴，采用先进气浮技术，回转精度极高、耗气量小，无接触运行设计可避免主轴磨损，长期使用仍能保持稳定的测量精度，适配高端精密零件的圆度测量。
高信噪比抗干扰设计
具备高信噪比传感系统，信号传输稳定，带宽更大，可有效过滤外界干扰信号，支持FFT谐波分析功能，能够精准评估零件装配后工作时的振动与噪声情况，为零件质量管控提供依据。
| 回转轴系 | 圆度误差1 | （0.025+0.0005H）μm |
| 轴向跳动误差2 | （0.025+0.0005R）μm | |
| 工作台直径 | 280mm | |
| 工作台承载 | 60kg | |
| 旋转速度 | 1-15转 | |
| 角分辨率 | 28800 | |
| 立柱 | 立柱高度 | 350mm |
| 立柱直线度（100mm）3 | 0.15μm | |
| 立柱直线度（全行程）3 | 0.3μm | |
| 平行度偏差 Z/C轴 | 0.8μm | |
| 立柱测量速度 | 0.1-5mm/s | |
| 立柱定位速度 | 0.5-30mm/s | |
| 立柱分辨率 | 0.005μm | |
| 水平臂 | 水平行程 | 180mm |
| 水平直线度（100mm）3 | 0.4μm | |
| 水平直线度（全行程）3 | 0.8μm | |
| 垂直度 X/C-轴 | 1.5μm | |
| 测量速度 | 0.1-3mm/s | |
| 定位速度 | 0.5-30mm/s | |
| 水平臂分辨率 | 0.005μm |
注：
1、以LSC为参考圆的最大偏差值，波段为1-15upr，转速为6U/min，测头直径为Φ2mm。H为离工作台高度距离，单位为mm。
2、以LSC为参考圆的最大偏差值，波段为1-15upr，转速为6U/min，测头直径为Φ2mm。R为离回转中心距离，单位为mm。
3、以ls参考直线的最大偏差值，λc为0.8mm，测量速度为1mm/s，测头直径为Φ2mm。
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